| 泵种类 | 油封机械泵 | 水蒸汽喷射泵 | 罗茨泵 | 油增压泵 | 油扩散泵 |
| *工作范围（Pa） | 105～10 | 105～102 | 102～1 | 1～10-1 | 5×10-2～10-4 |
定 律 及 公 式
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